分子泵的维修流程大致分为:再现性确认→电气特性检测→分解→打包→清洗→更换备件包→转子动平衡调整→重新装配→调整各个机械参数及传感器校正→泵体检漏→运转测试(包括直立运转与水平运转两种极端状态，同时用频谱分析仪监测其动态参数) →包装。详细如下:

1、再现性确认

目的：再次确认分子泵在客户使用过程中及运输过程中是否发生损坏。如果发生损坏，提前锁定损坏部位，以便做好维修的准备工作。

2、电气特性检测

目的：用于测量泵体内部各个磁力驱动线圈及位移传感器的电气特性是否合格，这是在再现性确认基础上的进一步检测。

3、分解

原因与目的：最终确认各个零件状况的优劣，并为清洗做好准备工作。只有分解之后才能清洗泵体内部的各个零件。

4、清洗

原因与目的:洗去泵体内部的附着的生成物与其他杂质，改善分子泵的使用状况，这也是分子泵保养的主要目的之一。

5、更换备件包

原因与目的：备件包主要包括保护轴承与密封圈。由于之前使用的保护轴承随着转子冲击与生成物腐蚀导致其保护作用下降，密封圈也随着使用时间与生成物腐蚀而老化，所以为了强化保护性能与密封，必须更换二者。

6、转子动平衡

原因与目的：分子泵在使用一段时间之后，由于应力变形、温度效应、各种冲击与振动、电磁于扰、气压扰动等的不良影响与作用，转子的动平衡状况会恶化，从而诱发转子振动冲击，极易损坏。有时甚至无法正常启动。

动平衡分为两个步骤：

(1)上动平衡，这是粗调，是装配前的大致调整，仅仅能够达到装配标准，并不能达到非常精准的要求。所以，这一步完成之后，还需要进一步的精密平衡技术，用以消除装配误差和温度效应；

(2)装配之后的现场动平衡，即整体动平衡，这是精调，能够消除装配误差和温度效应。这一步对于分子泵的稳定性和可靠性而言具有决定性作用。

7、重新装配

原因与目的：上述各个步骤完成之后，进入重新装配是水到渠成的，任何机器不装配起来以散件的形式存在都是无法使用的。

8、调整各个机械参数及传感器校正

原因与目的:每一种机器装配之后都面临各种参数的调试与调整，分子泵自然也不例外。调整内容同样包括机械部分的参数与各个传感器的校正。

9、泵体检漏

原因与目的:作为真空获得设备，任何泄露都是不允许的。所以，对泵体检漏也是必不可少的作业环节。

10、运转测试

原因与目的：分子泵作为磁悬浮轴承支承的超高速旋转设备，进行运转测试是非常必要的。测试内容包括泵体直立状态下的动态参数与泵体水平状态下的动态参数，并使用频谱分析仪严格监测各个主要谐振区的动态参数及参数变化，以及整个加减速过程的参数变化趋势，每个主要参数都必须合格。这是最为重要、最为严格的作业环节

11、电磁扰测试

由于分子泵采用磁悬浮轴承技术，所以，外来电磁干扰测试必不可少。如果工作环境的电磁干扰过大过强，势必会影响分子泵运转的稳定性与可靠性。

12、外来振动与冲击模拟测试

分子泵工作时主轴处于悬浮状态，对外来振动与冲击提出了很高要求，必须在运转测试过程中进行该项的测试工作。

13、真空度确认

分子泵的真空度确认标准为:8小时内真空度要达到 5.5X10-5Pa，否则，会被认为不合格。

14、发电保护确认

目前绝大部分磁悬浮轴承式分子泵都搭载了发电保护功能，必须在维修时对这一功能是否正常进行确认。否则，万一发生高速冲击，后果会很严重。

15、包装

原因与目的：以上作业合格完成之后，需要将泵体包装，以便返送给用户包装要做到密封、干燥、填充物力度适中等要求。

16、维修完毕，返还客户