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分子泵维修流程
分子泵的维修流程大致分为:再现性确认→电气特性检测→分解→打包→清洗→更换备件包→转子动平衡调整→重新装配→调整各个机械参数及传感器校正→泵体检漏→运转测试(包括直立运转与水平运...
2023-11-11
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